複合表面解析装置（ESCA）
(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA, エスカ）
(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS, エックスピーエス）

  • アルバック・ファイ社製
  • 最表面(5nm程度）の元素分析
  • 元素の化学状態分析
  • 中和銃により絶縁体の測定が可能
  • スパッタリングにより深さ方向の測定が可能
  • 結合状態の違いによる二次元マッピングが可能


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